日本半导体设备对标

一、设备
1、东电电子：ICP/CCP/反应离子刻蚀——中微，北方华创；
2、东电电子：涂胶显影——芯源微；
3、东电电子：CVD沉积设备——北方华创；
4、DNS/东电电子：湿法清洗设备——盛美，至纯，北方华创，百傲化学(收购苏州芯慧);
5、东电电子/KE:炉管，热处理——北方华创，屹唐，盛美；
6、KE:ALD/PLD——拓荆，微导，北方华创；
7、荏原机械/东电电子：CMP——华海清科；
8、佳能anelva:PVD沉积设备——北方华创；
9、日立高科/lasertec:前道量检测CD SEM,电子束，光置缺陷——精测电子，中科飞测；
10、爱德万：后道封装检测设备——长川科技，华峰测控，精智达；
11、佳能Tokki:真空蒸镀设备——汇成真空；
12、Disco:划片机——光力科技；
13、Nuflare/日新技研：化合物半导体薄膜沉积设备——晶盛机电，北方华创，露笑科技
14、Optima:量测——已经被赛腾股份收购；
15、芝浦：先进封装键合设备——芯源微；
16、Yamada:半导体封装设备——文一科技，新益昌；
17、爱发科：离子注入机——万业企业；
二、零部件
17、爱发科佳能anelva:真空泵——汉钟精机；
18、荏原机械/佳能anelva:半导体精密零部件——室创精密；
19、尼康光学：光学器件——茂菜光学，福晶科技
20、日本磁力：石英件——石英股份，菲利华
21、信越化学：石英坩埚——欧晶股份；
22、Rorze/Yaskawa/Daifuku:半导体机械臂/AMHS搬运系统：富创精密(广川是Yaskawa的合资企业),机器人；
三、半导体材料
23、日本凸版/DNP:掩膜板——清溢光电，路维光电；
24、大和日酸/东曹/昭和电工/三菱化学：半导体特气——雅克，华特气体，金宏气体，凯美特气，正帆科技；
25、信越化学/胜高：大硅片——沪硅，立昂微，晶合，中晶科技，有研硅，众合科技；
26、信越化学/JSR/东京应化恒化成：光刻胶——彤程新材，南大光电，新阳；
27、东京应化UJSR/关东化学住友化学：半导体化学品——雅克，江化微，晶瑞股份，格林达，昊华科技，中巨芯；
28、东曹爱发科/日立金属/日矿金属：溅射材——江丰电子，阿石创，有研新材，;
29、德山：多晶硅料——协鑫集成，大全能源，三孚股份；
30、旭硝子昭和电工/Fujimi:CMP抛光液——安集科技；
31、Fujibo/3M/东丽：CMP抛光垫——鼎龙股份；
31、味之素/日本磁力：AMB/ABF封装基板——博敏电子，华正新材；